物理氣相沉積技術
可制備的膜層種類如下：
耐磨涂層：TiN、TiC、CrN、TiCN等
減磨涂層：MoS2及MoS2-Ti、CuNiIn涂層
抗氧化沖刷涂層：TiAlN
熱障涂層：MCrAlY、ZrO2
其它功能涂層：Pt、Au、Ag、Pd、Ni-AgPd等貴金屬膜層
典型應用：應用于航空航天、船舶和核電領域的MCrAlY熱障涂層、TiN、TiAlN耐磨涂層和Pt、Au、Ag、Ni-AgPd等貴金屬涂層。
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